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氦气在氦质谱检漏技术中的应用原理

时间:2021-12-20

氦质谱检漏仪用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。是一种应用于国内外的真空容器检漏先进技术。与一般的检漏技术相比,氦质谱检漏技术快速、准确、灵敏度高及无损伤性等优点。


氦质谱检漏仪的示踪气体也可以是其他元素。但通常选用氦气,因为氦气具有以下特性:


1、氦气在空气中的含量少,只占约二十万分之一,易于发现;


2、氦分子小、质量轻、易扩散、比其它气体易穿越漏孔;


3、氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;


4、氦气是无毒、无味,对大气零污染。


5、氦气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤设备;


6、氦气无毒,不凝结,难容于水。


正因为氦气具有以上特性,所以氦气检漏应用已从科研院所到工业企业乃至到个体企业,可以说应用领域其宽广


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